NOVA NANOSEM 450, FEI

FEI

Elektronowy mikroskop skaningowy z analizatorem EDS

Katedra dysponuje wysokorozdzielczym skaningowym mikroskopem elektronowym SEM, wyposażonym w działo elektronowe z termiczną emisją polową (emiter Schottky'ego) z napięciem przyspieszającym regulowanym w zakresie od minimum 200 V do 30 kV. Mikroskop pracuje w trybie wysokiej próżni 6´10-6 mbar oraz w trybie niskiej próżni (<2 mbar). W zależności pod zastosowanych parametrów pomiarowych, możliwe jest osiąganie wysokich rozdzielczości (do 1 nm).

 

Mikroskop wyposażony jest w szereg detektorów pozwalających na obserwację topografii powierzchni preparatów z wykorzystaniem sygnałów elektronów wtórnych (SE) i elektronów wstecznie rozproszonych (BSE). Do detektorów tych należą:

  • Detektor wewnątrzsoczewkowy TLD, z możliwością pracy w dwóch trybach immersyjnych, rejestrującym sygnał elektronów wtórnych (SE) oraz sygnał elektronów wstecznie rozproszonych (BSE).

  • Detektor ETD montowany w komorze SEM do pracy w trybie podstawowym rejestrujący sygnał elektronów wtórnych (SE).

  • Detektor LVD do pracy w warunkach niskiej próżni, rejestrujący bezpośrednio sygnał elektronów wtórnych (SE).

  • Wysokoczuły detektor CBS zawierający 4 sektory rozmieszczone koncentrycznie, umożliwiający detekcję elektronów wstecznie rozproszonych (BSE) współpracujący z trybem spowalniania energii elektronów.

  • Wysokoczuły detektor elektronów przechodzących STEM z możliwością obserwacji w jasnym polu (BF), ciemnym polu (DF) oraz szerokokątowym ciemnym polu (HAADF).

 

Ponadto mikroskop FEI Nova NanoSEM 450 wyposażony jest w rentgenowski spektrometr EDS charakteryzujący się dużą powierzchnią aktywną (60 mm2), umożliwiający detekcję pierwiastków od boru wzwyż. Układ SEM/EDS zapewnia możliwość analizy jakościowej preparatów pod kątem składu pierwiastkowego: punktowo, z wybranego obszaru zredukowanego, z całego kadru, wzdłuż dowolnie poprowadzonej linii (linescan) oraz rozkładu pierwiastków na wybranym obszarze (mapping rtg). System EDS dysponuje możliwością zbierania map rtg od co najmniej 30 pierwiastków jednocześnie.

PHENOM G2 PURE

Phenom G2 Pure

Mikroskop elektronowy Phenom G2 Pure jest narzędziem do wstępnej charakterystyki preparatów przeznaczonych do badań z zastosowaniem skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM), w których wymagane jest płynne przejście z obrazowania w trybie mikroskopu optycznego do obrazowania w trybie mikroskopu elektronowego przy zapewnieniu wysokiej jakości obrazu.

Podstawowe cechy układu:

  • Rozdzielczość: 7,8 nm

  • Tryby obrazowania:

    • Optyczny: powiększenie stałe 20x 
    • Elektronowy: powiększenie: 70÷17,000x
  • Rejestracja obrazu cyfrowego:

    • tryb optyczny: kamera czarno-biała
    • tryb elektronowy: wysokoczuły detektor elektronów wstecznie rozproszonych
  • Moduł przetwarzania obrazu, 17-calowy monitor dotykowy, pokrętło sterujące, membranowe pompy próżniowe, zasilacz, USB 2.0 Flash

  • Format zapisu obrazu: JPEG, TIFF, BMP